1.材料優(yōu)勢
優(yōu)質(zhì)濾材:采用高性能的濾材,如疏水的聚四氟乙烯微孔濾膜材質(zhì)(PTFE折疊濾芯)、耐高溫玻纖濾料等。這些材料具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和物理性能,能夠有效過濾微小顆粒、液滴和氣味,去除空氣和水分中的各種雜質(zhì)和污染物。
高純度材料:在半導(dǎo)體制造過程中,需要使用高純度的材料來避免對芯片造成污染。MOCVD半導(dǎo)體設(shè)備濾芯所用的材料經(jīng)過嚴格篩選和處理,確保其純度符合要求,從而保證了過濾精度。例如,進口濾材能夠保證過濾器的使用壽命以及對后端真空泵及管路的清潔,而且在高溫環(huán)境下可長期使用,不會產(chǎn)生燃燒等意外。
2.設(shè)計優(yōu)勢
合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計:濾芯的結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,能夠增加有效過濾面積,提高容污能力。例如,采用波紋工藝的濾芯,有效過濾面積增加,容污能力強,使用周期長。
兩級過濾工藝:部分濾芯采用兩級過濾工藝,分級過濾雜質(zhì),能夠更有效地去除不同大小的顆粒雜質(zhì),進一步提高了過濾精度。
3.工藝優(yōu)勢
嚴格的生產(chǎn)工藝:生產(chǎn)廠家在生產(chǎn)過程中,遵循嚴格的質(zhì)量管理體系,從原材料到成品層層把關(guān),確保產(chǎn)品的質(zhì)量穩(wěn)定。
先進的加工技術(shù):利用先進的加工技術(shù),能夠精確控制濾芯的尺寸、孔徑等參數(shù),保證過濾精度的穩(wěn)定性。同時,先進的加工技術(shù)還可以提高濾芯的表面光滑度,減少雜質(zhì)的附著,延長使用壽命。
